中古 アルバック Ulvac クライオポンプ CRYO-U8HSP
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- メーカー
- アルバック Ulvac
- 型式
- CRYO-U8HSP
- 機種
- クライオポンプ
- 管理番号
- E12240146
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
CRYO-U8HSP の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 排気速度 | 1,700 L/s |
|---|---|
| 排気速度(水素) | 3,200 L/s |
| 排気速度(アルゴン) | 1,400 L/s |
| 排気速度(水蒸気) | 4,000 L/s |
| 到達圧力 | 10⁻⁷ Pa |
| 最大流量 | 1.2×10³ Pa·L/s |
| 排気容量 | アルゴン2.5×10⁸、水素1.0×10⁶ Pa·L |
| 冷却降下時間 | 125/115 分(50/60Hz) |
| 吸気口フランジ | UVG-200 |
| 質量 | 33.2 kg |
| 組み合わせる圧縮機 | C10、C10ES |
| 方式 | ヘリウム冷凍機式クライオポンプ(GMサイクル) |
| メンテナンスインターバル | 16,000 時間 |
| 最大連結台数 | 3 台 |
※吸気口フランジはUVG-200のほか6B ANSI、UFC-253仕様がある
※メーカー公式(ULVAC CRYOGENICS英語サイト)の現行仕様。旧ロットで数値が異なる可能性がある
出典: ulvac-cryo.com
アルバック Ulvac CRYO-U8HSP の装置概要 AIによる記述です
ヘリウム冷凍機(GMサイクル)で極低温に冷やしたクライオパネルに気体分子を凝縮・吸着させて排気する、ため込み式の高真空ポンプです。油を使わないため清浄な高真空が得られ、スパッタリングや蒸着などの成膜装置の主排気ポンプとして使われます。
排気速度は1,700 L/sで、気体別では水素3,200 L/s、アルゴン1,400 L/s、水蒸気4,000 L/sです。到達圧力は10⁻⁷ Pa、最大流量は1.2×10³ Pa·L/s、排気容量はアルゴン2.5×10⁸、水素1.0×10⁶ Pa·Lです。冷却降下時間は125/115分(50/60Hz)、吸気口フランジはUVG-200、質量は33.2 kgです。
組み合わせる圧縮機はC10、C10ESで、最大3台まで連結でき、メンテナンスインターバルは16,000時間です。吸気口フランジには6B ANSI、UFC-253の仕様もあり、旧ロットでは数値が異なる場合もあるため、現品のフランジ形状は確認が必要です。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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