中古 堀場エステック Stec マスフローコントローラー（MFC） SEC-410NC

本装置は、気体の質量流量を熱式センサーで高精度に測定し、内蔵された比例制御バルブによって目標流量へ自動的に調整を行うマスフローコントローラーです。
対象ガスはNH3（アンモニア）に設定されており、フルスケール流量は50 SCCM（標準状態における立方センチメートル/分）の微小流量仕様となっています。熱容量の差を利用して質量を直接計測する仕組みのため、使用環境の温度や圧力の変動に影響されにくい安定した流量制御を実現します。
制御範囲はフルスケールの2%〜100%（1.0〜50 SCCM）であり、流量精度はフルスケールに対して±1.0%以内の誤差に収まるよう設計されています。また、型式末尾の「NC」は非通電時に内部バルブが完全に閉じるノーマルクローズ（Normal Close）仕様であることを示しており、装置の電源喪失時やシステム異常時にガスの流出を防ぐフェイルセーフ構造です。
入出力インターフェースは業界標準のアナログ0～5VDC信号を採用しており、各種PLCや専用コントローラーと容易に接続が可能です。主に半導体製造プロセスや化学反応プロセスなど、腐食性ガスの精密な流量管理が要求される環境で運用される機器です。