中古 堀場エステック Stec マスフローコントローラー（MFC） SEC-410NC

本装置は、気体の質量流量を高精度に計測・制御するエラストマーシール（ゴムシール）仕様の熱式マスフローコントローラーです。制御バルブには、無通電時に弁が閉塞するノーマリークローズ（NC）方式を採用しており、異常発生時や停電時にもガス供給を安全に自動遮断します。

本構成は酸素（O2）用に調整されており、最大制御流量は5 SLM（Standard Liters per Minute）です。測定部には安定した温度分布検知を行う熱式センサー、駆動部には微細な開度調整が可能なソレノイドアクチュエータを搭載し、フルスケールに対して±1.0%の高精度な流量制御を実現します。外部制御信号には、標準的な0〜5 VDCのアナログ入出力を採用しており、既存のアナログ制御システムや各種測定器、PC制御システムへ容易に組み込むことが可能です。理化学、各種実験、工業用プロセスなどでのガス流量制御用途として、安定したパフォーマンスを提供します。