中古 SMC アングルバルブ（空圧弁） XMA-16H0

本装置は、半導体製造ラインや真空蒸着装置などの高真空排気系において、配管の開閉制御を行う空圧駆動式の高真空L型バルブ（アングルバルブ）です。駆動方式には、制御用エアーの供給が遮断された際に内蔵スプリングによって自動的に弁が閉じる安全性の高い単動（スプリングリターン）のノーマルクローズ（N.C.）タイプを採用しています。

最大の特徴として、AC100V仕様のヒーター（消費電力20W）を標準搭載している点が挙げられます。バルブ本体を約80℃に加熱・保温できるため、配管内を通過する反応ガスや生成物の固着、結露を効果的に防止し、高真空環境における安定した開閉動作と長寿命化を両立します。接続フランジには汎用性の高いKF16（NW16相当）規格を採用しており、1.3×10^-6 Paの超高真空領域から大気圧にいたる幅広い圧力レンジでの確実なシール性を発揮します。