中古 Aera マスフローコントローラー（MFC） FC-771AC
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- メーカー
- Aera
- 型式
- FC-771AC
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガスH2 流量20SLM
W125 D34 H170 - 管理番号
- Z21080225
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | H2 |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 20 SLM |
| 外形寸法 | W125 D34 H170 mm |
FC-771AC の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| フルスケールレンジ(N2換算) | 6〜50SLM |
|---|---|
| バルブ | 常閉(NC) |
| 校正ガス | H2 |
| 標準継ぎ手(シリーズ) | 1/4"VCR または 1/4"Swagelok |
| 動作差圧 | 69〜275 kPa(d) |
| 応答性 | 2秒以内(フルスケールの±2%まで) |
| 精度 | フルスケールの±1%以下(20SLM超〜50SLMは±2%以下) |
| 直線性 | フルスケールの±0.5%以下(20SLM超〜50SLMは±1%以下) |
| 繰り返し性 | フルスケールの±0.2%以下 |
| 外部リークレート | 1×10⁻⁷以下(He) Pa·m³/sec |
| 流量制御範囲 | 2〜100 %F.S. |
| 最大動作圧力 | 490 kPa(g) |
| 耐圧力 | 981 kPa(g) |
| 使用可能周囲温度 | 5〜45 ℃ |
※上記仕様は同シリーズの標準的なカタログ値に基づく参考情報です。中古機械の性質上、実際の製品の状態や内部調整、キャリブレーション状況により異なる場合があります。
出典: メーカー資料
Aera FC-771AC の装置概要 AIによる記述です
本装置は、優れた応答性と高い信頼性を備えた熱式マスフローコントローラです。ガス流路のシール部に高気密なメタルシールを採用しているため、外部へのガス漏洩を極限まで抑え、高純度ガスや可燃性ガスの安全かつ安定した制御を可能にします。
本個体は水素（H2）ガス専用として調整されており、最大流量20 SLM（Standard Liters per Minute：標準状態換算での毎分20リットル）までの精密な流量制御に対応しています。制御バルブには信頼性の高いソレノイド駆動方式（常時閉：Normally Closed）を採用。外部からのアナログ信号（0〜5 VDC）による流量設定、および実際の流量値を示すアナログ出力（0〜5 VDC）に対応しています。
外形寸法は面間（接続端面間距離）125 mm、幅34 mm、高さ170 mmとコンパクトな設計になっており、ガスパネルや各種製造装置などの限られたスペースへの設置や、既存機器からのリプレイスが容易です。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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