中古 Brooks マスフローコントローラー（MFC） 5877

本装置は、気体の質量流量を精密に測定・制御するためのマスフローコントローラー（MFC）です。熱式流量センサーと高分解能な比例制御バルブを組み合わせた構造を採用しており、使用環境の温度や供給側の圧力変動に左右されることなく、設定されたガス流量を極めて安定して供給することが可能です。

本個体は酸素（O2）ガスの制御用にセットアップされており、フルスケール流量は1000 SCCM（Standard Cubic Centimeter per Minute）仕様となっています。酸素ガスは、半導体製造プロセスにおける酸化膜形成やアッシング、各種工業炉への支燃性ガスの供給、バイオリアクターでの培養プロセスなど、厳密な流量管理が要求される多様な用途で利用されます。1000 SCCM（1.0 L/min）という流量レンジは、研究開発レベルの実験装置から中規模の生産プロセスまで、幅広い環境での緻密なガス供給に適しています。

内部の動作原理としては、バイパス構造を持つセンサーチューブ部に配置されたヒーターと温度センサーにより、通過するガスの熱移動量から質量流量を直接検知します。その測定値と外部からの設定信号（セットポイント）の偏差がゼロになるよう、内蔵バルブの開度を連続的に自動調整するフィードバック制御を行います。本体の外形寸法はW170 × D34 × H120 mmとなっており、ガスパネルやチャンバー周辺の既存配管システムへ組み込む際のクリアランス設計の指標となります。なお、微小な不純物がバルブの動作不良を引き起こす可能性があるため、実稼働においては上流側へのラインフィルターの設置が推奨されます。