中古 Brooks マスフローコントローラー（MFC） 5877

本装置は、各種ガスプロセスにおいて精密な流量制御を担うマスフローコントローラー（MFC）用のマルチチャンネル電源・制御ユニット（パワーサプライおよびリードアウト）です。最大4系統のMFCを同時に接続・駆動させることが可能で、本仕様においてはCF4（四フッ化炭素）ガスに対応し、最大流量100SCCMまでの微小流量を正確に測定・制御するシステムとして構成されています。

フロントパネルには視認性に優れたデジタルインジケーターを搭載し、各チャンネルの現在流量や設定値をリアルタイムに把握できます。ローカル環境での手動バルブ制御（オープン／クローズ／オート）や流量設定に加え、標準的なアナログ信号（0〜5VDC）を介した外部システムからのリモート制御にも対応しています。幅210mm、奥行40mm、高さ130mmというコンパクトな筐体設計により、研究開発設備から生産ラインの制御盤内まで、限られたスペースへ効率的に組み込むことが可能です。