中古 Tylan マスフローコントローラー（MFC） FC-760
本体価格(税別、送料別)30,000円
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- メーカー
- Tylan
- 型式
- FC-760
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガスN2 流量500SCCM
W125 D33 H180 - 管理番号
- Z21080331
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | N2 |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 500 SCCM |
| 外形寸法 | W125 D33 H180 mm |
| 現品ラベルの型式 | FC-760 |
FC-760 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 校正ガス | N2(窒素) |
|---|---|
| 制御方式 | 熱式質量流量センサ + 制御バルブ |
| メーカー | Tylan(現 MKS Instruments) |
出典: 現品の銘板
Tylan FC-760 の装置概要 AIによる記述です
本装置は、長年にわたり半導体製造プロセスや各種工業・研究用途において安定した稼働実績を持つ、熱式のアナログマスフローコントローラーです。窒素ガス（N2）専用に調整されており、最大500 SCCM（Standard Cubic Centimeters per Minute）までのガス流量を高精度に計測・制御します。
内部に搭載された熱式センサーと制御バルブにより、一次側の供給圧力や二次側の負荷変動、周囲温度の変化に左右されることなく、設定された質量流量を一定に維持します。外形寸法は幅125mm、奥行33mm、高さ180mmとコンパクトな設計になっており、限られたスペースへの設置や既存システムへの統合が容易です。アナログ信号（0〜5 VDC）による制御に対応しており、シンプルなシステム構成での運用に適しています。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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