中古 Tylan マスフローコントローラー（MFC） FC-760

本装置は、気体の質量流量を高精度に測定・制御するアナログ式の熱式マスフローコントローラー（MFC）です。長年にわたり半導体製造ラインや各種実験装置、真空薄膜形成プロセスなどで標準的に採用されてきた、堅牢で信頼性の高い構造を備えています。

内部には熱式センサーと電磁式の流量制御バルブ（ノーマリークローズ仕様）を搭載しており、一次側の圧力変動や周囲の温度変化に左右されることなく、設定された流量を安定して維持します。制御および測定値の出力には汎用性の高い0〜5 VDCアナログ信号を採用しているため、既存の各種制御システムや外部ディスプレイ、PLC（プログラマブルロジックコントローラ）との連携が容易です。接続インターフェースには20ピンのカードエッジコネクタが採用されており、同系統のシステムを使用する既存設備のメンテナンスや予備部品、レトロフィット用途として非常に有用な1台です。