中古 Tylan マスフローコントローラー（MFC） FC-761

本装置は、気体の質量流量を精密に測定・制御するアナログ式の熱式マスフローコントローラー（MFC）です。半導体プロセスや各種実験装置、真空装置など、高精度な気体制御が必要な環境で広く採用されてきた実績を持ちます。
本個体は、窒素（N₂）ガス専用として、最大流量10 SLM（Standard Liters per Minute）の仕様で構成されています。内部に搭載された熱式センサーがガスの質量流量を直接検知し、電磁式バルブを高速でフィードバック制御することで、上流側の圧力変動に左右されない安定したガス供給を実現します。駆動電源には一般的な±15VDC、制御およびモニター信号には0〜5VDCのアナログインターフェースを使用。堅牢な金属筐体を採用し、W150mm×D40mm×H180mmのコンパクトな設計により、既存システムへの組み込みやリプレイスも容易です。