中古 Tylan マスフローコントローラー（MFC） FC-761
本体価格(税別、送料別)30,000円
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- メーカー
- Tylan
- 型式
- FC-761
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガスN2 流量10SLM
W150 D40 H180 - 管理番号
- Z21080335
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | N2 |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 10 SLM |
| 外形寸法 | W150 D40 H180 mm |
| 現品ラベルの型式 | FC-761 |
FC-761 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 校正ガス | N2(窒素) |
|---|---|
| 制御方式 | 熱式質量流量センサ + 制御バルブ |
| メーカー | Tylan(現 MKS Instruments) |
※上記仕様は同シリーズの代表的なカタログ値および本個体の構成に基づく参考値です。電気ピンアサインや配管継手（VCR、ワンタッチ、Swagelok等）の詳細については、実機の現物確認を推奨いたします。
出典: 現品の銘板
Tylan FC-761 の装置概要 AIによる記述です
本装置は、半導体プロセスや各種産業分野における気体の精密な流量制御に長年広く使用されてきた、実績のある熱式マスフローコントローラーです。内部に熱式質量流量センサーと電磁式コントロールバルブを搭載しており、一次側の圧力変動や温度変化に左右されず、常に安定した質量流量の測定および制御を行います。
本個体は、不活性ガスとして広く用いられる窒素（N2）用に調整されており、最大流量10 SLM（Standard Liters per Minute）までの制御に対応しています。制御方式はアナログ方式を採用しており、0～5 VDCの電圧信号によって外部制御機器からの流量設定および測定値のモニター（出力）が可能です。駆動電源には±15 VDCを必要とします。研究開発用途から生産設備への組み込みまで、シンプルかつ信頼性の高いガス流量管理を可能にするコンポーネントです。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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