中古 Tylan マスフローコントローラー（MFC） FC-771C
本体価格(税別、送料別)30,000円
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- メーカー
- Tylan
- 型式
- FC-771C
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガスO2 流量20SLM
W125 D31 H140 - 管理番号
- Z21080341
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | O2 |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 20 SLM |
| 外形寸法 | W125 D31 H140 mm |
FC-771C の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| コネクタ接続 | CASE GND／COMMON／OUTPUT 0〜5VDC／+15VDC／(OUTPUT 0〜2.5mA)／VALVE TEST PT.／CONTROL 0〜5VDC／COMMON(VALVE RTN.)／VALVE OPEN・CLOSE／-15VDC／(ALARM OUT H・L)／(ALARM OFF) |
|---|---|
| フルスケールレンジ(N2換算) | 6〜50SLM |
| バルブ形式 | ノーマリクローズ |
| 外部シール材 | Rubber(ゴム) |
| 応答性(フルスケールの±2%まで) | 2秒以内 |
| 精度(フルスケール) | ±1%以下(20SLM超〜50SLMは±2%以下) |
| 直線性(フルスケール) | ±0.5%以下(20SLM超〜50SLMは±1%以下) |
| 繰り返し性(フルスケール) | ±0.2%以下 |
| 外部リークレート | 1×10⁻⁶atm·cc/sec(He)以下〈1×10⁻⁷Pa·m³/sec(He)以下〉 |
| 流量制御範囲(フルスケール) | 2〜100% |
| 動作差圧 | 0.7〜2.8kgf/cm²(d)〈69〜275kPa(d)〉(20SLM超では1.0〜2.8kgf/cm²(d)) |
| 最大動作圧力 | 5kgf/cm²(g)〈490kPa(g)〉 |
| 耐圧力 | 10kgf/cm²(g)〈981kPa(g)〉 |
| 使用可能周囲温度 | 5〜45 ℃ |
| 流量設定／出力信号 | 0〜5VDC(電流モードは0〜2.5mA) |
出典: メーカー資料
Tylan FC-771C の装置概要 AIによる記述です
本装置は、半導体製造プロセスをはじめとする各種産業や研究開発において、気体の質量流量を高精度に測定・制御するために設計された熱式マスフローコントローラーです。本モデルは対象ガスとして酸素（O2）に対応しており、最大流量20 SLM（Standard Liters per Minute）の中・大流量レンジの制御に適しています。
内部に搭載された高精度な熱式流量センサー、バイパス、および応答性に優れた電磁式コントロールバルブの連携により、一次側の供給圧力や温度に変動が生じた場合でも、設定された一定の流量を安定して維持します。制御信号および流量出力信号には、汎用性の高い0〜5 VDCのアナログ電圧信号を採用しており、既存のプロセス制御システムや各種コントロールボードと容易に接続可能です。設定変更に対して迅速に追従する優れた応答性能と高い再現性を備えており、安定したガス供給プロセスをサポートします。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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