中古 Tylan マスフローコントローラー（MFC） FC-771C
本体価格(税別、送料別)30,000円
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- メーカー
- Tylan
- 型式
- FC-771C
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガスN2 流量20SLM
W125 D34 H170 - 管理番号
- Z21080343
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | N2 |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 20 SLM |
| 外形寸法 | W125 D34 H170 mm |
FC-771C の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| コネクタ接続 | CASE GND／COMMON／OUTPUT 0〜5VDC／+15VDC／(OUTPUT 0〜2.5mA)／VALVE TEST PT.／CONTROL 0〜5VDC／COMMON(VALVE RTN.)／VALVE OPEN・CLOSE／-15VDC／(ALARM OUT H・L)／(ALARM OFF) |
|---|---|
| フルスケールレンジ(N2換算) | 6〜50SLM |
| バルブ形式 | ノーマリクローズ |
| 外部シール材 | Rubber(ゴム) |
| 応答性(フルスケールの±2%まで) | 2秒以内 |
| 精度(フルスケール) | ±1%以下(20SLM超〜50SLMは±2%以下) |
| 直線性(フルスケール) | ±0.5%以下(20SLM超〜50SLMは±1%以下) |
| 繰り返し性(フルスケール) | ±0.2%以下 |
| 外部リークレート | 1×10⁻⁶atm·cc/sec(He)以下〈1×10⁻⁷Pa·m³/sec(He)以下〉 |
| 流量制御範囲(フルスケール) | 2〜100% |
| 動作差圧 | 0.7〜2.8kgf/cm²(d)〈69〜275kPa(d)〉(20SLM超では1.0〜2.8kgf/cm²(d)) |
| 最大動作圧力 | 5kgf/cm²(g)〈490kPa(g)〉 |
| 耐圧力 | 10kgf/cm²(g)〈981kPa(g)〉 |
| 使用可能周囲温度 | 5〜45 ℃ |
| 流量設定／出力信号 | 0〜5VDC(電流モードは0〜2.5mA) |
出典: メーカー資料
Tylan FC-771C の装置概要 AIによる記述です
本マスフローコントローラーは、半導体製造プロセスや各種産業用ガス制御において長年にわたり実績を持つ、アナログ制御方式の流量制御装置です。
窒素（N2）ガスに対応し、最大20 SLM（Standard Liters per Minute）の中・大流量域における正確なガス流量の測定および制御を可能にします。
駆動電源には標準的な±15 VDCを使用し、流量の設定入力および出力信号には0〜5 VDCのアナログ電圧信号を採用しています。電気配線用のコネクタには、信頼性の高い20ピンのカードエッジ端子（エッジコネクタ）が備えられており、既存のアナログ制御システムや評価設備、研究開発用途におけるリプレイス品として適しています。
外形寸法は幅125mm、奥行34mm、高さ170mmのコンパクト設計となっており、堅牢な金属筐体による高い耐久性を備えています。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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