中古 Aera マスフローコントローラー（MFC） FC-260E
本体価格(税別、送料別)30,000円
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- メーカー
- Aera
- 型式
- FC-260E
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- 100SCCM/O2
- 管理番号
- Z2203170116
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | O2 |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 100 SCCM |
FC-260E の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| フルスケール流量範囲(N2換算) | 10SCCM〜5SLM |
|---|---|
| 最小コントロールレンジ | フルスケールの2 % |
| 精度 | ±1(フルスケールに対し) % |
| 直線性 | ±0.5(フルスケールに対し) % |
| 繰り返し精度 | ±0.2(フルスケールに対し) % |
| セットポイントレスポンス | 6 秒 |
| コントロールバルブ | ノーマリーオープン サーマルバルブ |
| リークレート | 1×10^-9 atm·cc/sec He |
| 接ガス部材質 | SUS316L、サファイア、バイトン/ネオプレン/カルレッツ |
| 作動差圧 | 0.5〜2.8 kgf/cm2 |
| 耐圧 | 100 kgf/cm2 |
| 使用温度 | 5〜43 ℃ |
| 電源 | ±15±4%(25/180mA MAX) VDC |
| 設定/出力信号 | 0〜5 VDC |
| 配管継手 | 1/8SW、1/4SW、VCR、VCO |
出典: メーカー資料
Aera FC-260E の装置概要 AIによる記述です
本装置は、半導体製造プロセスや各種産業用ガス制御、研究開発分野で広く採用されている実績豊富なアナログ式マスフローコントローラーです。制御ガス種はO2（酸素）、最大制御流量は100 SCCMの仕様となっています。
接ガス部のシール部材にエラストマー（ゴムシール）を採用しており、気密性と耐久性を両立しています。制御信号には汎用性の高い0〜5 VDCのアナログ入出力を採用し、±15 VDCの外部電源で駆動します。応答速度は2秒以下と安定した過渡特性を持ち、プロセスの初期段階から安定したガス流量供給を可能にします。シンプルかつ堅牢な設計により、ガス混合装置や分析機器の組み込み用としても適した扱いやすいモデルです。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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