中古 Aera マスフローコントローラー（MFC） FC-260E
見積・送料・動作確認の結果をご案内します。通常1営業日以内にご返信します。
同じ型式の在庫がほかに1台あります → 中古 Aera FC-260E の在庫2台を比べる
- 実機を見に来ていただけます(事前にご連絡ください)
- 大学・公的機関は後払い(請求書払い)できます
- 支払い・納期・返品について(よくある質問)
- メーカー
- Aera
- 型式
- FC-260E
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- 500SCCM/N2
- 管理番号
- Z2203170117
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | N2 |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 500 SCCM |
FC-260E の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| フルスケール流量範囲(N2換算) | 10SCCM〜5SLM |
|---|---|
| 最小コントロールレンジ | フルスケールの2 % |
| 精度 | ±1(フルスケールに対し) % |
| 直線性 | ±0.5(フルスケールに対し) % |
| 繰り返し精度 | ±0.2(フルスケールに対し) % |
| セットポイントレスポンス | 6 秒 |
| コントロールバルブ | ノーマリーオープン サーマルバルブ |
| リークレート | 1×10^-9 atm·cc/sec He |
| 接ガス部材質 | SUS316L、サファイア、バイトン/ネオプレン/カルレッツ |
| 作動差圧 | 0.5〜2.8 kgf/cm2 |
| 耐圧 | 100 kgf/cm2 |
| 使用温度 | 5〜43 ℃ |
| 電源 | ±15±4%(25/180mA MAX) VDC |
| 設定/出力信号 | 0〜5 VDC |
| 配管継手 | 1/8SW、1/4SW、VCR、VCO |
※上記仕様は、メーカー公開の該当シリーズの標準的なデータに基づく参考値です。中古機器の特性上、個別のオプション対応や現物のコネクタ形状、校正状態については実機確認が必要です。
出典: メーカー資料
Aera FC-260E の装置概要 AIによる記述です
本装置は、気体の質量流量を精密に測定・制御する、熱式（サーマル）センサーを搭載したアナログ方式のマスフローコントローラーです。窒素（N2）ガス用に校正されており、最大流量100 SCCM（Standard Cubic Centimeters per Minute）までの微小流量制御に対応しています。
内部は、熱式流量センサー、流路を分岐させる層流バイパス、電磁バルブ、およびこれらを制御するアナログ電子回路から構成されています。流路を流れるガスの質量流量をセンサーが検知し、外部から入力される0〜5 VDCの流量設定信号（セットポイント）と一致するように電磁バルブの開度を高速で自動調整（フィードバック制御）します。これにより、一次側（供給圧）や二次側（負荷圧）の圧力変動が生じた場合でも、影響を受けることなく一定の質量流量を維持することが可能です。
半導体製造装置のガス供給系をはじめ、研究開発用のガス導入ライン、各種分析装置の雰囲気制御など、高い再現性と長期安定性が求められるプロセスで幅広く使用されている標準的な仕様のモデルです。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
同じ型式 FC-260E の在庫
ほかのマスフローコントローラー（MFC）の在庫
マスフローコントローラー（MFC）の在庫をすべて見る(223点) ›
マスフローコントローラー（MFC）の買取も行っています
不要になったマスフローコントローラー（MFC）がありましたら、無料で査定します。廃棄・処分する前に一度ご相談ください。