中古 堀場エステック Stec マスフローコントローラー（MFC） SEC-421

このマスフローコントローラは、気体の質量流量を精密に測定・制御する装置です。中流量域（5 SLM 〜 20 SLM）のガス制御に対応しており、半導体製造プロセス、研究開発用の実験設備、各種産業用ガスラインなど、幅広い分野で採用されています。制御バルブには、非通電時に自動的に流路を遮断する安全性の高いノーマリークローズ（N.C.）方式を採用しています。
熱式質量流量センサーの搭載により、周囲の温度や一次側・二次側の圧力変動に影響されない、高精度かつ安定した流量制御が可能です。シール部にはエラストマー（フッ素ゴム等）を使用しており、気密性を確保しつつ優れたコストパフォーマンスを実現しています。制御信号には実績のあるアナログ方式（0〜5 VDC）を採用しており、D-sub 15ピンコネクタを介して既存の制御システムへの組み込みやリプレイスがスムーズに行えます。