中古 堀場エステック Stec マスフローコントローラー（MFC） SEC-421

本装置は、半導体製造プロセスや各種工業・研究開発分野において、気体の質量流量を高精度に測定・制御する熱式マスフローコントローラーです。ガス種「SF6（六フッ化硫黄）」、フルスケール流量「200SCCM」の仕様で調整されており、不活性ガスや腐食性ガスの精密な流量管理に適しています。

内部には、高精度な熱式流量センサー、流路を分岐させるバイパス、および電磁式のコントロールバルブが搭載されています。外部から入力される流量設定信号に対し、センサーで検出した実流量が設定値と一致するように、バルブの開度を高速かつ連続的に自動制御します。アナログインターフェースを採用しており、±15VDC電源と0-5VDCの入出力信号による制御が可能なため、既存のシステムへの組み込みやリプレイスがスムーズに行えます。