中古 堀場エステック Stec マスフローコントローラー（MFC） SEC-400MK3-K
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- メーカー
- 堀場エステック Stec
- 型式
- SEC-400MK3-K
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガス:SiH4 流量:2LM
- 管理番号
- Z230331031
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | SiH4 |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 2 LM |
| 校正ガス（現品登録情報） | SiH₄（モノシラン） |
| フルスケール流量（現品登録情報） | 2 SLM |
SEC-400MK3-K の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 設定・出力信号 | 0〜5 V（リニア） |
|---|---|
| 制御方式 | 熱式センサー＋制御弁の閉ループ制御（設定信号と流量信号の差をゼロにする） |
| シリーズ内の位置づけ | SEC-400シリーズのローコストモデル |
※精度・応答・供給電源（一般に±15 V DC）・継手規格・最大使用圧力はメーカー資料(アクセス制限)で未確認
※他ガスへの転用にはコンバージョンファクター換算または再校正が必要
出典: directindustry.com、horiba.com
堀場エステック Stec SEC-400MK3-K の装置概要 AIによる記述です
熱式のマスフローセンサーとピエゾ（またはソレノイド）駆動の制御弁を一体化したアナログ式のマスフローコントローラで、外部から与えた設定信号（0〜5 V）とセンサーの流量信号を比較し、その差がゼロになるよう制御弁を動かして流量を一定に保ちます。SEC-400シリーズはSTECのロングセラーで、SEC-400MK3とSEC-500MK3はそのローコストモデルにあたり、研究用のガス供給系、CVD・スパッタ装置、分析装置のキャリアガス制御などに広く使われています。流量信号は0〜5 Vのリニア出力で外部機器に取り出せます。現品はガス種SiH₄（モノシラン）、フルスケール流量2 SLMで校正された個体です（型式末尾のKは仕様記号で、シラン系ガス対応の仕様と考えられる）。マスフローコントローラはガス種と流量レンジごとに校正されているため、他のガスで使う場合はコンバージョンファクターによる換算か再校正が必要です。中古品につき、ゼロ点のずれ、弁のシール性（バルブ閉時のリーク）、継手のシール面の状態を確認したうえでの使用が前提になります。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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