中古 堀場エステック Stec マスフローコントローラー（MFC） SEC-400MK3-K
本体価格(税別、送料別)30,000円
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- メーカー
- 堀場エステック Stec
- 型式
- SEC-400MK3-K
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガス:N2O 流量:2LM
- 管理番号
- Z230331039
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | N2O |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 2 LM |
| 校正ガス（現品登録情報） | SiH₄（モノシラン） |
| フルスケール流量（現品登録情報） | 2 SLM |
SEC-400MK3-K の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 設定・出力信号 | 0〜5 V（リニア） |
|---|---|
| 制御方式 | 熱式センサー＋制御弁の閉ループ制御（設定信号と流量信号の差をゼロにする） |
| シリーズ内の位置づけ | SEC-400シリーズのローコストモデル |
※本仕様は同シリーズの標準仕様に基づく参考値です。中古品のため、実際の調整状態や校正状況により異なる場合があります。
出典: directindustry.com、horiba.com
堀場エステック Stec SEC-400MK3-K の装置概要 AIによる記述です
対象のマスフローコントローラーは、半導体製造プロセスや理化学実験、各種産業ガスラインにおいて、気体の質量流量を高精度に測定・制御するデジタル熱式質量流量コントローラーです。駆動源には応答性に優れたピエゾアクチュエータを採用しており、設定値への迅速な追従性と安定した制御動作を実現します。本個体は、プロセスガスとして「N2O（亜酸化窒素）」、最大流量「2 LM（2 SLM）」に対応した仕様となっています。内部シールにエラストマーを採用した汎用性の高いモデルであり、配管への脱着やメンテナンス性に優れています。アナログおよびデジタル通信に対応し、各種制御システムへの統合が容易です。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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