中古機 チューニングコントローラー ダイヘン製、型式CMC-10のご紹介

【AIによる装置概要】
本機は、半導体製造装置や液晶ディスプレイ製造工程などのプラズマプロセス（CVD、エッチング、スパッタリング等）において、高周波（RF）整合器を制御するための自動チューニングコントローラーです。プラズマ状態の変動に伴う負荷インピーダンスの変化を瞬時に検知し、高周波電源から供給される電力の反射波が最小（目標インピーダンス50Ω）になるよう、整合器内部の可変コンデンサ（バリコン）をモーター駆動により自動調整します。

フロントパネルには、自動（AUTO）と手動（MANUAL）の操作モード切り替えスイッチを搭載しており、プロセス立ち上げ時やメンテナンス時の細かなマニュアル操作にも柔軟に対応します。また、チューニング（TUNE）およびロード（LOAD）の各バリコンポジションや、チューニング完了などの動作ステータスを視覚的に確認できる表示部を備えており、的確なモニタリングが可能です。

主に同社製の高周波電源やマッチングボックスとシステムとして組み合わせて使用され、安定したプラズマ放電の維持とプロセスの再現性向上に寄与する装置です。

【AIによる参考仕様】
・制御対象: 高周波整合器内のTUNE（同調）およびLOAD（負荷）用モーター
・制御目標インピーダンス: 50 Ω
・操作モード: AUTO（自動制御） / MANUAL（手動制御）
・入力電源: AC 100 V
・電源周波数: 50/60 Hz
・消費電力: 50 VA
・外形寸法: 約 幅215 × 奥行350 × 高さ99 mm（※参考値、突起部含まず）
・質量: 約 3.5 kg（※参考値）
・主な接続インターフェース: 整合器接続用コネクタ、システムI/Oコネクタ
・パネル表示機能: TUNE/LOADポジションインジケータ、チューニングステータスランプ
・適用プロセス: エッチング、CVD、スパッタリング等の高周波プラズマプロセス

※上記は標準的なモデルに基づく参考仕様です。製造時期や組み込まれていたシステム（カスタマイズ等）により、実際の仕様や接続インターフェースが一部異なる場合があります。