中古機 チューニングコントローラー ダイヘン製、型式CMC-10のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体や液晶パネル製造などのプラズマプロセス（CVD、エッチング、スパッタリング等）において、高周波（RF）電源とチャンバー（負荷）間のインピーダンス整合を行うマッチングユニットを操作・制御するためのオートチューニングコントローラーです。プラズマの着火時やプロセス進行中に変動する負荷インピーダンスの誤差信号（位相およびインピーダンスのズレ）をリアルタイムで検出し、マッチングユニット内部の可変コンデンサを駆動させる2軸のモーター（TUNE側およびLOAD側）へ制御信号を出力します。これにより、システム全体を標準的な50Ωのインピーダンスに自動整合させ、電源側への反射電力を最小限に抑えます。

フロントパネルからの操作により、自動（AUTO）と手動（MANUAL）の制御モード切り替えが可能です。手動モードでは、プロセスの条件出しやメンテナンス時に各可変コンデンサのポジションを任意の数値に微調整できます。また、プラズマ着火前の初期位置をあらかじめ指定するプリセットポジション機能を備えており、オートチューニングの応答時間を短縮させることが可能です。高周波システムにおいて安定したプラズマ放電を維持し、電力伝送効率の最適化を担う重要な制御ユニットとして機能します。

【AIによる参考仕様】
・制御対象: マッチングユニット内モーター（2軸：TUNE / LOAD）
・制御方式: 位相（Phase）/ インピーダンス（Magnitude）誤差信号に基づくモーター駆動制御
・動作モード: AUTO（自動） / MANUAL（手動）切替式
・入力電源電圧: 単相 AC100V～240V
・電源周波数: 50Hz / 60Hz
・インピーダンス整合目標: 50Ω
・対応周波数: 主に13.56MHzなどの高周波RFシステム（※適合するマッチングユニットに依存）
・フロントパネル機能: TUNE / LOADポジション表示、手動操作スイッチ、動作モード切替インジケータ
・外部インターフェース: 外部装置からのアナログ/デジタル制御信号入力、ステータス信号出力対応
・プリセット機能: 初期ポジション設定機能搭載

（※上記は本シリーズの標準的なカタログ情報に基づく参考仕様です。製造時期や組み込まれていた装置固有のカスタマイズ仕様（コネクタ形状やピンアサイン等）によって一部数値が異なる場合があります。正確な適合については実機の銘板およびメーカー資料をご確認ください。）