中古機 チューニングコントローラー ダイヘン製、型式CMC-10のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体やFPD（フラットパネルディスプレイ）の製造プロセスなどで使用されるプラズマ処理システムにおいて、高周波（RF）電源とプラズマ負荷間のインピーダンスを自動的に整合させるためのチューニング制御ユニットです。真空チャンバー内のプラズマ状態の変化に伴う負荷インピーダンスの変動を検出し、電源側への反射波が最小（システムインピーダンス50Ωに整合）となるように、マッチングボックス（自動整合器）内に搭載された可変コンデンサをモーター駆動で精密に調整します。

フロントパネルには「AUTO（自動）」と「MANUAL（手動）」の制御モード切替スイッチが配置されています。自動モードではプロセス中のプラズマ負荷変動に対して高速かつ安定した追従を行い、手動モードでは前面のスイッチを用いてコンデンサのポジションを任意の位置へ調整することが可能です。また、チューニングの状況やコンデンサの現在位置はパネル上のメーターで視覚的に監視できます。

背面には外部インターフェースを備えており、ホストシステムやRFジェネレーターからのリモート制御信号を受け付けることで、装置全体の自動化システムへの組み込みに対応します。プラズマCVD、スパッタリング、ドライエッチングといった高周波プラズマ応用装置の安定稼働を維持するための重要なコンポーネントとして利用されます。

【AIによる参考仕様】
・制御対象: 自動整合器内の可変コンデンサ駆動用DCモーター
・制御モード: AUTO（自動追従制御） / MANUAL（手動制御）
・対応システムインピーダンス: 50Ω
・想定適用周波数帯: 13.56MHz等の高周波RFシステム（組み合わせる整合器の仕様に依存）
・入力電源: 単相 AC100V（50/60Hz）
・フロントパネル機能:
　- 制御モード切替スイッチ（AUTO/MANUAL）
　- マニュアル操作用チューニングコントロールスイッチ
　- チューニング状態/コンデンサポジション表示メーター
・背面インターフェース:
　- マッチングボックス接続用端子（誤差信号入力、モーター駆動出力）
　- リモート制御用I/Oコネクタ（外部からの接点・アナログ信号による連動制御用）
・主な適用プロセス: プラズマCVD、スパッタリング、ドライエッチング等の真空プロセス装置