中古機 チューニングコントローラー アステック　ASTECH製、型式DC-10Pのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造装置や各種真空成膜プロセス（スパッタリング装置、プラズマCVD装置、ドライエッチング装置など）において、高周波（RF）電源とチャンバー（プラズマ負荷）間のインピーダンスを整合させる自動整合器（オートマッチングネットワーク）を制御するための専用コントローラーです。

プラズマ放電中に発生する負荷インピーダンスの変動に対し、センサー側からフィードバックされる位相（Phase）および振幅（Magnitude）の誤差信号を常時監視します。これらの入力信号を基に、マッチングボックス内に組み込まれた可変コンデンサ（バリコン）を駆動する2軸のモーターに対して最適な制御電圧を出力し、電源側への反射電力が最小（0W付近）となるよう迅速かつ自動的に追従制御を行います。

フロントパネルには、自動（AUTO）と手動（MANUAL）の動作モード切替スイッチを備えており、手動モード時にはパネル上の操作部から直接コンデンサのポジション調整を行うことが可能です。これにより、新規プロセスのセットアップ時やメンテナンス時の操作性が向上しています。また、背面パネルに配置されたI/Oコネクタを介して上位のPLCシステム等と接続することで、リモート環境からのチューニング開始、ポジションのプリセット設定、インターロック信号の送受信といったシステム統合にも対応します。

【AIによる参考仕様】
・制御対象: RFマッチングネットワーク用2軸自動制御（Tune軸 / Load軸）
・誤差信号入力: 位相（Phase）および振幅（Magnitude）DC電圧信号（代表値: ±5V 〜 ±10V DC）
・モーター駆動出力: DCモータードライブ出力（代表値: 最大±15V または ±24V DC）
・制御モード: AUTO（自動追従） / MANUAL（手動可変） / REMOTE（外部制御）
・位置検出入力: ポテンショメータからのフィードバック信号（0〜10V DC）
・フロントパネル装備: 動作モード切替スイッチ、Tune/Loadマニュアル操作スイッチ、ポジション指示メーター、ステータス表示LED
・外部インターフェース: アナログ/デジタルI/Oコネクタ（リモート制御・監視用）
・入力電源: AC100V〜120V / 200V〜240V（単相 50/60Hz）
・消費電力: 約50W〜100W（接続されるモーターの駆動負荷に依存）
・筐体形状: EIA規格準拠ラックマウント対応（ハーフサイズまたは専用ラック組み込みサイズ）

※本データは当該シリーズの標準的な仕様を抽出した参考値です。同一仕様書内に併記されることが多い派生モデルや他型式との混同を避けるため基本数値を記載していますが、製造時期やエンドユーザー向けのカスタム仕様により、モーター駆動電圧やI/Oコネクタのピンアサインが異なる個体が存在します。実運用の際は、実機背面の銘板およびコネクタ仕様を必ずご確認ください。