中古機 チューニングコントローラー ダイヘン製、型式CMC-10のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造や液晶パネル製造におけるプラズマエッチング、CVD、スパッタリング装置等で用いられる高周波電源用のインピーダンス整合（チューニング）コントローラーです。高周波電源から供給される電力をプラズマ負荷（チャンバー）へ効率よく伝送するため、専用のマッチングネットワーク（整合器）と接続して使用されます。プロセス中のプラズマ状態の変化に伴うインピーダンス変動をリアルタイムで検出し、電源側の出力インピーダンスである50Ωに自動的に整合させる役割を担います。

装置内部の制御回路は、整合器内のTUNE（同調）およびLOAD（負荷）用真空可変コンデンサを駆動するモーターへ正確な指示を送ります。フロントパネルにはAUTO（自動整合）とMANUAL（手動整合）の切り替えスイッチを備えており、プロセスの立ち上げ時やメンテナンス時の手動調整も容易に行えます。また、フロントパネルのインジケーターにより、可変コンデンサの現在位置（0〜100%）や整合状態を直感的に確認することが可能です。

プラズマプロセスにおいて反射波電力を最小限に抑え、安定した放電を維持するための重要な制御ユニットです。既存設備の保守・リプレイス用コンポーネントとして、あるいは研究開発向けの高周波システム構築において実用的な機器となります。

【AIによる参考仕様】
・用途: 高周波整合器（マッチングネットワーク）用自動制御ユニット
・制御対象: 整合器内蔵TUNE/LOAD可変コンデンサ駆動用モーター
・制御モード: AUTO（自動整合） / MANUAL（手動整合）
・目標インピーダンス（入力側）: 50Ω
・フロントパネル表示機能: TUNE / LOAD ポジションインジケーター（0〜100%）
・フロントパネル操作部: AUTO/MANUAL切替スイッチ、手動微調整用スイッチ/ダイヤル
・背面インターフェース: 整合器接続用コントロールコネクタ、外部リモート制御用I/Oポート
・入力電源: 単相 AC100V帯 50/60Hz（※詳細な対応電圧・消費電力等は個体銘板に準拠）
（※本仕様は同シリーズの一般的なデータに基づく参考値です。接続可能な整合器の型式やインターフェースのピンアサインについては、実機の仕様をご確認ください。）