中古機 チューニングコントローラー ダイヘン製、型式CMC-10のご紹介

【AIによる装置概要】
本機は、半導体やFPD（フラットパネルディスプレイ）製造におけるプラズマエッチング、CVD、スパッタリング装置などに用いられる、自動整合器（オートマッチングネットワーク）用のチューニングコントローラーです。高周波（RF）電源からプラズマチャンバー内の負荷へ高周波電力を供給する際、プラズマのインピーダンス変動を検知し、反射波電力が最小となるように整合器に内蔵された可変コンデンサ（真空コンデンサ等）をモーター制御します。

フロントパネルには「TUNE」および「LOAD」それぞれの「AUTO / MANUAL」切り替えスイッチと、手動チューニング用のポジション操作スイッチが配置されており、プロセスの条件出しや保守時に柔軟な微調整が可能です。また、各コンデンサの現在位置を視覚的に確認できるポジションメーターを備えています。背面のマルチピンコネクタを介したアナログI/Oインターフェースにより、ホスト装置からの遠隔制御やインターロックにも対応しており、プラズマ放電の安定化とプロセスの再現性維持に寄与します。研究開発用途のプラズマ装置の構築や、既存製造ラインの保守・予備部品として適した制御ユニットです。

【AIによる参考仕様】
・機器分類: 自動整合器（オートマッチャ）用チューニングコントローラー
・制御対象: インピーダンス整合器内の可変コンデンサモーター
・制御軸数: 2軸（TUNE側コンデンサ / LOAD側コンデンサ）
・動作モード: AUTO（自動整合制御） / MANUAL（手動調整） ※TUNE/LOAD各軸で独立して切り替え可能
・入力電源: 単相 AC100V
・電源周波数: 50 / 60 Hz
・操作パネル装備: モード切替スイッチ、手動ポジション操作スイッチ、コンデンサポジション指示メーター、ステータスインジケーター
・外部制御インターフェース: アナログ信号および接点I/O（背面コネクタ接続によるホスト通信・連動制御対応）
・筐体形状: 19インチラックマウント対応寸法
・主な接続対象機器: 同社製オートマッチングネットワーク（AMNシリーズ等）