中古機 マスフローコントローラー（MFC） 堀場エステック　Stec製、型式SEC-410-146のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスをはじめとする各種研究・工業分野において、気体の質量流量を高精度に測定および制御するためのアナログ式熱式マスフローコントローラーです。
本個体は、特殊ガスである「4% PH3/Ar（アルゴン希釈4%ホスフィン）」専用にキャリブレーション（校正）が施されており、最大流量250CCM（sccm）までの精密なガス流量制御に対応しています。
定評のある熱式センサーと高精度な電磁弁（コントロールバルブ）を搭載しており、経時変化が少なく、優れた再現性と安定した応答性能を維持します。外部制御はアナログ信号（0〜5VDC）に対応しており、既存のプロセスシステムや制御盤への組み込みが容易な設計となっています。

【AIによる参考仕様】
* **対応ガス種：** 4% PH3 / Ar（アルゴン希釈ホスフィン）
* **フルスケール流量：** 250 CCM (sccm)
* **流量制御範囲：** 5% 〜 100% F.S.（12.5 〜 250 CCM）
* **流量精度：** ±1.0% F.S.
* **再現性：** ±0.2% F.S.
* **応答速度：** 2〜3秒（ステップ応答においてフルスケールの98%到達まで）
* **バルブ動作形式：** 常時閉（ノーリークローズ / N.C.）
* **シール材質：** エラストマー（フッ素ゴム等）
* **接ガス部主要材質：** SUS316L、SUS316、PTFE、フッ素ゴム
* **動作差圧範囲：** 49 〜 294 kPa
* **耐圧：** 980 kPa
* **外部リークレート：** 1 × 10⁻⁸ Pa・m³/sec（He）以下
* **動作温度範囲：** 5 〜 45 ℃
* **制御信号（入力/出力）：** 0 〜 5 VDC
* **駆動電源：** DC±15V ±5%（推奨電流容量：100mA以上）
* **電気コネクタ：** D-sub 9ピン（オス）

※中古機器の性質上、継手形状（VCRやSwagelok等）や詳細なピンアサイン、内部バルブの状態については現物確認を優先してください。また、異なるガス種や流量への変更（再キャリブレーション）の可否についてはメーカーへの確認が必要です。