中古 堀場エステック Stec マスフローコントローラー（MFC） SEC-410-146
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- メーカー
- 堀場エステック Stec
- 型式
- SEC-410-146
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガス:4%PH3/Ar 流量:250CCM
- 管理番号
- Z230331058
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | PH3 |
|---|---|
| 濃度 | 4 % |
| 希釈ガス | Ar |
| 流量(フルスケール) | 250 CCM |
| 現品銘板の型式 | SEC-410-146(STEC INC.) |
SEC-410-146 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 校正ガス | 4%PH3/Ar(ホスフィン4%のアルゴン希釈) |
|---|---|
| 窒素換算コンバージョンファクタ(C.F.) | 1.35(N2基準) |
| 制御方式 | 熱式質量流量センサ + 制御バルブ |
※メーカー仕様書(精度・使用圧力・継手・応答時間)は取得できていない。SEC シリーズの旧型番はメーカーサイトから消えている。
※校正ガス以外で使うときは換算係数が必要。
※ホスフィン(PH3)は毒性の高いガス。希釈品とはいえ流した履歴があるため、洗浄状態の確認を勧める。
出典: 現品の銘板
堀場エステック Stec SEC-410-146 の装置概要 AIによる記述です
ガスの質量流量を計測しながら設定した流量に保つ機器で、半導体製造装置や成膜装置などのガス供給ラインに組み込んで使われる。熱式の質量流量センサで流れているガスの量を検出し、設定値との差に応じて内蔵の制御バルブの開度を調整する。体積ではなく質量を基準に流量を扱う方式で、プロセスガスを安定して供給する用途に向く。
銘板上の校正ガスは4%PH3/Ar(ホスフィン4%のアルゴン希釈)、フルスケール流量は250 CCMである。窒素基準のコンバージョンファクタ(C.F.)は1.35とされている。ホスフィン希釈ガスは、シリコンへのリンのドーピングなどの工程で使われる。
校正ガス以外のガスで使う場合は、換算係数による補正が必要になる。精度、使用圧力、継手、応答時間はメーカー仕様書で確認できていない。PH3は毒性の高いガスであり、希釈品でも流した履歴があるため、使用前に洗浄状態を確認することが望ましい。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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