中古 堀場エステック Stec マスフローコントローラー（MFC） SEC-410-146

本装置は、高精度な熱式センサーと電磁弁を内蔵した、信頼性の高いアナログ制御方式の熱式マスフローコントローラーです。長年にわたり研究開発から生産ラインまで幅広く採用されてきたロングセラーシリーズに属し、微小流量の精密なガス流量制御に適しています。

本個体は、半導体プロセスなどで用いられる特殊ガス「4% PH3/Ar（アルゴン希釈ホスフィン）」に調整されており、最大制御流量（フルスケール）は「250 CCM」仕様となっています。±1.0% F.S.の流量制御精度と、±0.2% F.S.の再現性を備え、安定したプロセス管理を実現します。接ガス部のシールにはエラストマー（フッ素ゴム等）を採用しており、気密性と耐食性を両立しています。入出力信号は標準的な0～5Vのアナログ電圧制御に対応しているため、既存の制御システムや実験設備への組み込み・リプレイスが容易です。