中古 堀場エステック Stec マスフローコントローラー（MFC） SEC-410-146

本マスフローコントローラーは、半導体製造プロセスや各種研究開発用装置において、ガスの質量流量を極めて正確に測定・制御する熱式質量流量制御装置です。
センサー部で検出した質量流量値を元に、内蔵された高性能ソレノイドバルブを高速でフィードバック制御することにより、プロセスの安定性を高めます。本個体は、半導体のドーピング用途などに用いられる特殊ガス「4% PH3/Ar（アルゴン希釈4%ホスフィン）」に対応し、最大流量「250CCM（sccm）」の精密制御用にキャリブレーション（調整）されています。
アナログ信号（0〜5 VDC）による入出力インターフェースに対応しており、既存のアナログ制御システムや真空排気ラインへの組み込み、リプレイスがスムーズに行えます。高信頼性の熱式センサー技術により、経時変化が少なく長期間にわたり安定したガス流量供給が可能な産業用コンポーネントです。