中古 Tylan マスフローコントローラー（MFC） FM-860

本装置は、半導体製造や各種薄膜堆積プロセスにおいてガスの質量流量を測定・監視する熱式質量流量計（マスフローメーター）です。メーカーの製品体系において「FM」シリーズは流量計測に特化した仕様となっており、内部の熱式センサーを用いてガスの質量流量をリアルタイムで正確に検出します（※自動流量制御を行う場合は、別途コントロールバルブや外部制御系との連携が必要となります）。

対象ガスは特殊高圧ガスであるモノシラン（SiH4）に調整されており、フルスケール300SCCMの微小流量域において優れた再現性と安定した計測性能を発揮します。アナログ方式によるシンプルな回路構成のため、長期間の動作信頼性に優れており、既存設備のリプレイス用パーツや研究開発・実験システムの流量監視用途に適しています。なお、SiH4以外のガス種で使用する場合は、コンバージョンファクターの計算または専門業者による再校正・キャリブレーションが必要となります。