中古 Tylan マスフローコントローラー（MFC） FM-860
本体価格(税別、送料別)30,000円
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- メーカー
- Tylan
- 型式
- FM-860
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガスSiH4 流量300SCCM
W150 D40 H180 - 管理番号
- Z21080364
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | SiH4 |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 300 SCCM |
| 外形寸法 | W150 D40 H180 mm |
| 現品銘板の型式 | FM-860(TYLAN MASS FLOW METER / NIPPON TYLAN CORP.) |
| 校正ガス(現品) | SiH4(モノシラン) |
| 流量(フルスケール、現品) | 300 SCCM |
FM-860 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 種別 | マスフローメータ(流量計。制御バルブなし) |
|---|---|
| 流量出力 | 0〜5VDC(0〜2.5mA) |
| 電源 | ±15VDC |
| 測定方式 | 熱式質量流量センサ |
※本仕様は、同シリーズの基本技術データに基づく参考値です。中古品としてのキャリブレーション状況や端子仕様などの詳細については、現物でのご確認をお願いいたします。
出典: 現品の銘板
Tylan FM-860 の装置概要 AIによる記述です
本装置は、半導体プロセスや各種薄膜堆積技術において、ガスの質量流量を正確に計測・監視するための熱式質量流量測定装置（マスフローメーター）です。特殊高圧ガスであるシラン（SiH4）に最適化されており、最大流量300 SCCMまでの高精度な測定に対応します。
センサー部には信頼性の高い熱式センサーを採用しており、周囲の温度や圧力の変化に影響されず、安定した質量流量を検出してアナログ信号（一般仕様：0〜5 VDC）として出力します。外形寸法は幅150mm、奥行40mm、高さ180mmとコンパクトな設計であり、ガスパネルや製造装置内部の限られたスペースにも効率的に配置可能です。外部の制御バルブやシステムと組み合わせることで、精密なガス流量管理システムを構築できます。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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