中古 Tylan マスフローコントローラー（MFC） FM-860
本体価格(税別、送料別)30,000円
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- メーカー
- Tylan
- 型式
- FM-860
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガスSiH4 流量300SCCM
W150 D40 H180 - 管理番号
- Z21080362
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | SiH4 |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 300 SCCM |
| 外形寸法 | W150 D40 H180 mm |
| 現品銘板の型式 | FM-860(TYLAN MASS FLOW METER / NIPPON TYLAN CORP.) |
| 校正ガス(現品) | SiH4(モノシラン) |
| 流量(フルスケール、現品) | 300 SCCM |
FM-860 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 種別 | マスフローメータ(流量計。制御バルブなし) |
|---|---|
| 流量出力 | 0〜5VDC(0〜2.5mA) |
| 電源 | ±15VDC |
| 測定方式 | 熱式質量流量センサ |
出典: 現品の銘板
Tylan FM-860 の装置概要 AIによる記述です
本装置は、半導体製造プロセスや各種薄膜堆積装置などで長年の実績を持つ、熱式流量センサーを搭載したガス制御機器です。対象ガスとして、半導体プロセスで多用される可燃性・自発火性ガスのシラン（SiH4）に対応しており、最大300 SCCMまでの微小流量を高精度に制御します。
堅牢なアナログ制御回路を内蔵しており、0〜5 VDCの外部制御信号および流量出力信号に対応し、±15 VDCの外部電源により安定して動作します。接ガス部には特殊ガスに対する耐食性と気密性を備えたステンレススチール等が採用されており、プロセスの安全性を担保します。経年劣化が少なく、長期間にわたり安定した動作が期待できるため、研究開発設備から生産ラインの予備機まで幅広く適応可能な信頼性の高いモデルです。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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