中古 堀場エステック Stec マスフローコントローラー（MFC） SEC-410-146
本体価格(税別、送料別)30,000円
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- メーカー
- 堀場エステック Stec
- 型式
- SEC-410-146
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガス:4%PH3/Ar 流量:250CCM
- 管理番号
- Z230331058
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | PH3 |
|---|---|
| 濃度 | 4 % |
| 希釈ガス | Ar |
| 流量(フルスケール) | 250 CCM |
| 現品銘板の型式 | SEC-410-146(STEC INC.) |
SEC-410-146 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 校正ガス | 4%PH3/Ar(ホスフィン4%のアルゴン希釈) |
|---|---|
| 窒素換算コンバージョンファクタ(C.F.) | 1.35(N2基準) |
| 制御方式 | 熱式質量流量センサ + 制御バルブ |
※中古機器の性質上、継手形状（VCRやSwagelok等）や詳細なピンアサイン、内部バルブの状態については現物確認を優先してください。また、異なるガス種や流量への変更（再キャリブレーション）の可否についてはメーカーへの確認が必要です。
出典: 現品の銘板
堀場エステック Stec SEC-410-146 の装置概要 AIによる記述です
本装置は、半導体製造プロセスをはじめとする各種研究・工業分野において、気体の質量流量を高精度に測定および制御するためのアナログ式熱式マスフローコントローラーです。
本個体は、特殊ガスである「4% PH3/Ar（アルゴン希釈4%ホスフィン）」専用にキャリブレーション（校正）が施されており、最大流量250CCM（sccm）までの精密なガス流量制御に対応しています。
定評のある熱式センサーと高精度な電磁弁（コントロールバルブ）を搭載しており、経時変化が少なく、優れた再現性と安定した応答性能を維持します。外部制御はアナログ信号（0〜5VDC）に対応しており、既存のプロセスシステムや制御盤への組み込みが容易な設計となっています。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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