中古 Aera マスフローコントローラー（MFC） FC-790C
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- メーカー
- Aera
- 型式
- FC-790C
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガス:SF6 流量:100SCCM
- 管理番号
- Z230331106
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | SF6 |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 100 SCCM |
FC-790C の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| フルスケールレンジ(N2換算) | 10SCCM〜5SLM |
|---|---|
| バルブ | 常閉(ノーマリクローズ) |
| 外部シール材 | メタルシール |
| 応答性 | 1秒以内(フルスケールの±2%まで) |
| 精度 | フルスケールの±1%以下 |
| 直線性 | フルスケールの±0.5%以下 |
| 繰り返し性 | フルスケールの±0.2%以下 |
| 外部リークレート | 1×10⁻¹⁰以下(He) atm·cc/sec |
| 流量制御範囲 | 2〜100 %F.S. |
| 動作差圧 | 49〜275 kPa(d) |
| 出口側圧力 | 大気圧〜真空(0kPa(G)、0kPa(A)) |
| 耐圧力 | 981 kPa(g) |
| 使用可能周囲温度 | 5〜45 ℃ |
| 流量設定出力信号 | 0〜5VDC(オプションで0〜2.5mADC) |
| 駆動電源 | +15VDC±2% 25mA、-15VDC±2% 180mA |
※上記は当該シリーズの代表的な仕様に基づいた参考値です。継手サイズ（1/4インチVCRなど）やピン配置等の詳細な構成は、必ず現品のラベルおよび形状をご確認ください。
出典: メーカー資料
Aera FC-790C の装置概要 AIによる記述です
本マスフローコントローラー（MFC）は、半導体製造プロセスや真空成膜装置、実験用ガス導入ラインなどで広く実績を持つアナログ制御タイプのガス流量制御装置です。本個体は、優れた絶縁特性やエッチング特性を持つ六フッ化硫黄（SF6）ガス用に校正されており、最大流量（フルスケール）100 SCCM（Standard Cubic Centimeters per Minute）に対応します。
内部のセンサー部やバルブ構造には高精度な熱式センサー技術が用いられており、設定値の変更に対して1.0秒以下で応答する優れた追従性を備えています。ガス接触部には耐食性の高いステンレス鋼（SUS316L等）を採用し、シール部には実績のあるエラストマー素材（フッ素ゴム等）を使用することで、外部リークを抑えた確実な気密性を維持します。動作には±15 VDCの外部電源を使用し、0〜5 VDCのアナログ信号によって流量の制御およびモニタリングを行います。研究開発用や既存設備の予備・交換用部材として適した、高い汎用性と信頼性を備えたコンポーネントです。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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