中古 Aera マスフローコントローラー（MFC） FC-790C
本体価格(税別、送料別)30,000円
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- メーカー
- Aera
- 型式
- FC-790C
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガス:BCL3 流量:200SCCM
- 管理番号
- Z230331113
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | BCl3 |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 200 SCCM |
FC-790C の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| フルスケールレンジ(N2換算) | 10SCCM〜5SLM |
|---|---|
| バルブ | 常閉(ノーマリクローズ) |
| 外部シール材 | メタルシール |
| 応答性 | 1秒以内(フルスケールの±2%まで) |
| 精度 | フルスケールの±1%以下 |
| 直線性 | フルスケールの±0.5%以下 |
| 繰り返し性 | フルスケールの±0.2%以下 |
| 外部リークレート | 1×10⁻¹⁰以下(He) atm·cc/sec |
| 流量制御範囲 | 2〜100 %F.S. |
| 動作差圧 | 49〜275 kPa(d) |
| 出口側圧力 | 大気圧〜真空(0kPa(G)、0kPa(A)) |
| 耐圧力 | 981 kPa(g) |
| 使用可能周囲温度 | 5〜45 ℃ |
| 流量設定出力信号 | 0〜5VDC(オプションで0〜2.5mADC) |
| 駆動電源 | +15VDC±2% 25mA、-15VDC±2% 180mA |
※以下は標準的なシリーズ仕様に基づく参考値です。中古品のため、実際の接続ポート形状やピンアサイン等の詳細仕様は現物をご確認ください。
出典: メーカー資料
Aera FC-790C の装置概要 AIによる記述です
本装置は、半導体や電子デバイスの製造プロセス、化学分析、各種研究開発のガス供給システムにおいて、ガスの質量流量を高精度に測定・制御する熱式マスフローコントローラーです。
ガス接触部のシール材にメタルシールを採用していることが大きな特徴であり、優れた気密性と高い耐食性を有しています。これにより、本装置に設定されている三塩化ホウ素（BCl3）のような腐食性や反応性の極めて高いガスを使用する環境においても、ガスの外部漏洩や外気の侵入、シール材からのアウトガス（放出ガス）を最小限に抑え、プロセスの高クリーンネスを維持します。
流量制御範囲はフルスケールの2%から100%まで幅広く対応し、応答時間は2秒以下と、迅速かつ安定した流量追従性を実現します。アナログ信号（0〜5 VDC）による入出力制御に対応しており、既存の各種製造装置やガスパネルへの組み込み・置き換えがスムーズに行える設計となっています。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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