中古 Aera マスフローコントローラー（MFC） FC-790C
本体価格(税別、送料別)30,000円
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- メーカー
- Aera
- 型式
- FC-790C
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガス:CL2 流量:100SCCM
- 管理番号
- Z230331109
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | Cl2 |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 100 SCCM |
FC-790C の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| フルスケールレンジ(N2換算) | 10SCCM〜5SLM |
|---|---|
| バルブ | 常閉(ノーマリクローズ) |
| 外部シール材 | メタルシール |
| 応答性 | 1秒以内(フルスケールの±2%まで) |
| 精度 | フルスケールの±1%以下 |
| 直線性 | フルスケールの±0.5%以下 |
| 繰り返し性 | フルスケールの±0.2%以下 |
| 外部リークレート | 1×10⁻¹⁰以下(He) atm·cc/sec |
| 流量制御範囲 | 2〜100 %F.S. |
| 動作差圧 | 49〜275 kPa(d) |
| 出口側圧力 | 大気圧〜真空(0kPa(G)、0kPa(A)) |
| 耐圧力 | 981 kPa(g) |
| 使用可能周囲温度 | 5〜45 ℃ |
| 流量設定出力信号 | 0〜5VDC(オプションで0〜2.5mADC) |
| 駆動電源 | +15VDC±2% 25mA、-15VDC±2% 180mA |
出典: メーカー資料
Aera FC-790C の装置概要 AIによる記述です
本装置は、優れた信頼性と精密な流量制御性能を備えたメタルシール（金属ガスケット）仕様のアナログマスフローコントローラー（MFC）です。腐食性の強い塩素ガス（CL2）に対応し、フルスケール流量100 SCCMの精密な流量制御に適した設計がなされています。接ガス部に耐食性に優れた金属材料を採用し、シール部をメタル仕様とすることで、外部へのガス漏洩（リーク）を極限まで抑制。大気成分の混入やガス漏出を防ぎ、真空装置や半導体プロセスラインなどの高真空環境下において高い安全性と再現性を提供します。駆動電源には標準的な±15 VDC、制御信号には0〜5 VDCのアナログインターフェースを使用するため、既存の制御システムへの組み込みや、同規格品からの置き換えが容易な点も特徴です。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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