中古機 アライナー調整用マスク キャノン　Canon製、型式BY9-8083　　No3のご紹介

【AIによる装置概要】
本品は、半導体製造工程で用いられる露光装置（マスクアライナー）の初期設定や定期的なメンテナンス、各種精度調整において使用されるキャリブレーション用のテストマスクです。5インチサイズのウェハ処理向けに設計されており、装置のアライメント精度（位置合わせ精度）の校正、フォーカスの最適化、解像力の確認、および露光照度の均一性評価などに利用されます。

基板の外形寸法は6インチ角（152.4mm × 152.4mm）となっており、対応する露光装置のマスクホルダに直接セットして運用します。一般的にこのクラスのテストマスクには、高い光学透過性と極めて低い熱膨張係数を持つ合成石英ガラス、または平坦度の高いソーダライムガラスが採用されており、寸法変動を極小に抑えつつ精密なクロム（Cr）パターニングが施されています。

微細パターンの転写テストやステージの移動精度の評価を行うことで、露光装置の光学パフォーマンスを定量的に把握し、最適な状態に維持するための重要な治具として機能します。研究開発部門での実験用途や、既存ラインの稼働維持、定期検査用として活用されます。

【AIによる参考仕様】
・対応ウェハサイズ：5インチ（約127mm）
・マスク外形寸法：6インチ角（152.4mm × 152.4mm）
・マスク厚：約0.12インチ（3.05mm）〜0.25インチ（6.35mm） ※6インチ角マスクの標準規格（6012/6025等）に基づく参考値
・基板材質：合成石英ガラス または ソーダライムガラス
・遮光膜材質：クロム（Cr）などの金属薄膜
・主な用途：
　- アライメント（位置合わせ）精度の校正
　- 解像力・フォーカスマージンの評価テスト
　- 露光エリア内の照度均一性（ユニフォーミティ）確認
　- ステージ移動精度および歪みの測定
・適用装置：5インチウェハ対応マスクアライナー（プロキシミティ・コンタクト方式など）