中古機 アライナー キャノン　Canon製、型式PLA-501Sのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、主に最大5インチ（125mm）までのウェーハサイズに対応したプロキシミティおよびコンタクト方式のマスクアライナーです。半導体製造プロセスの黎明期から、現在におけるMEMS、化合物半導体、パワーデバイスといった特殊基板の研究開発や試作ラインに至るまで、幅広い環境で稼働実績を持つ手動（マニュアル）アライメント機として知られています。

露光方式は、マスクとウェーハ間に微小なギャップを設けるプロキシミティ（近接）方式のほか、より微細なパターン転写を目的とするソフトコンタクトおよびハードコンタクト方式に対応しており、プロセス条件に応じた最適なモードを選択可能です。光源部には250Wまたは500Wの超高圧水銀ランプを搭載し、主にg線、h線、i線を含むブロードバンド（UV400等）の波長領域による露光を行います。

スプリットフィールド顕微鏡を用いた手動位置合わせ機構を採用しており、オペレーターが目視で直感的にアライメント作業を行える構造です。内部機構がシンプルかつ堅牢であることからメンテナンス性に優れており、フルオートの自動搬送機では対応しにくい厚物基板や変形基板、小口径の破片ウェーハなどを扱う多様なプロセスにおいて、高い柔軟性を発揮します。

【AIによる参考仕様】
・対応ウェーハサイズ：最大5インチ（チャック等の交換により2～4インチや不定形チップにも対応）
・対応マスクサイズ：最大6インチ角
・露光方式：プロキシミティ、ソフトコンタクト、ハードコンタクト
・光源ランプ：250W または 500W 超高圧水銀ランプ
・露光波長：標準ブロードバンド（主にg線436nm、h線405nm、i線365nm）
・アライメント方式：スプリットフィールド顕微鏡による手動（マニュアル）位置合わせ
・解像度（目安）：コンタクト露光時 約1.0μm / プロキシミティ露光時 約3.0μm（露光ギャップ20μm設定時）
・アライメント精度：約±1.0μm（※目視による手動調整のため操作環境により変動）
・顕微鏡光学系：対物レンズ複数倍率（例：5x、10x、20x等から選択構成）
・必要ユーティリティ：真空、圧縮空気、窒素（N2）、排気ダクト接続

※上記は当該シリーズの標準的なカタログ値に基づく仕様の目安です。中古機械の場合、搭載されている光学系ユニット、光源の出力仕様、付属するウェーハチャックやマスクホルダーのサイズなど、流通個体によって実際の構成パーツが異なる場合があります。実機の詳細な状態については別途確認が必要です。