中古機 アライナー調整用DRマスク キャノン　Canon製、型式No35-3のご紹介

【AIによる装置概要】
本製品は、等倍ミラープロジェクション方式を採用した半導体露光装置（アライナー）の光学系調整および動作精度の確認を目的とした専用テストマスクです。日々の定期点検やメンテナンス時のキャリブレーションにおいて、装置の基準状態を維持するための重要な調整治具として機能します。

主に5インチウェーハを処理する際の装置パラメータの最適化に用いられ、マスクの外形寸法は6インチ角（152.4mm × 152.4mm）となっています。マスク面上には、解像力評価用の微細なライン・アンド・スペースパターンや、アライメント精度、ディストーション（歪曲収差）を測定するための基準マーク群が精密に配置されています。

これにより、1:1の等倍投影露光におけるフォーカス位置のズレ、露光量の均一性、およびウェーハに対する重ね合わせ精度の厳密な定量評価が可能です。中古市場においては、既存の露光装置の稼働維持や、オーバーホール・部品交換時の性能検証において、露光品質を客観的に担保するための実用的な検証用部品となります。

【AIによる参考仕様】
・用途: 等倍ミラープロジェクションアライナーの光学系調整および定期点検
・対象ウェーハ径: 5インチ（約127mm）
・マスク外形サイズ: 6インチ角（152.4mm × 152.4mm）
・露光投影方式: 1:1 等倍ミラープロジェクション
・主な測定・評価項目:
　- アライメント（重ね合わせ）精度測定
　- ディストーション（歪曲収差）測定
　- 限界解像度の確認およびフォーカス位置調整
　- 露光フィールド内の照度均一性評価
・基板材質: 石英ガラス（標準的な半導体露光用フォトマスク仕様に準ずる）
・パターン構成: 解像度測定用パターン、アライメントマーク、二次元グリッドパターン等