中古機 アライナー キャノン　Canon製、型式PLA-501Sのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体やMEMS、オプトエレクトロニクスデバイスなどの製造プロセスにおいて、フォトリソグラフィ工程を担うプロキシミティ（近接）およびコンタクト露光方式を採用したマスクアライナーです。最大5インチ（125mm）までのウエハサイズに対応しており、研究開発用途から小・中規模の生産ラインまで幅広く導入されてきた実績のあるプラットフォームをベースとしています。

自動アライメント機能を備えた派生モデルとは異なり、本機はオペレーターが顕微鏡視野を確認しながら微動ステージを操作するマニュアル（手動）アライメント機構を主体としています。これにより、不定形や特殊な厚みを持つ基板、あるいは非標準的なアライメントマークを用いたプロセスに対しても、柔軟かつ直感的な位置合わせが可能です。

露光モードは、基板とマスクを物理的に密着させて高い解像度を得る「ハードコンタクト」や「ソフトコンタクト」に加え、両者間に微小なギャップ（数μm〜数十μm）を設けることでマスクの摩耗やパーティクルによる損傷を防ぐ「プロキシミティ露光」を選択できます。光源には超高圧水銀ランプを搭載しており、安定した紫外線照射によって高精度なパターン転写を実現します。堅牢な機械構造とシンプルな制御系により、メンテナンス性が高く長期的な安定稼働が見込める設計となっています。

【AIによる参考仕様】
・対応基板サイズ：最大5インチ（125mm）※ウエハチャック等の交換により3インチ、4インチ、小片チップにも対応可能
・対応マスクサイズ：最大5インチ角 または 6インチ角
・露光方式：ハードコンタクト、ソフトコンタクト、プロキシミティ
・露光光源：超高圧水銀ランプ（主に250W または 500Wクラス）
・露光波長：広帯域紫外線（UV-400を中心とするg線・h線・i線帯域）
・解像力目安：
　- コンタクト露光時：約1μm以下
　- プロキシミティ露光時（ギャップ20μm設定時）：約3μm
・アライメント方式：マニュアル（手動）アライメント
・アライメント顕微鏡：双眼スプリットフィールド顕微鏡（対物レンズ切り替え式）
・アライメント精度目安：約1.0μm〜2.0μm（※プロセス条件およびオペレーターの操作に依存）
・プロキシミティギャップ設定範囲：1μm 〜 50μm
・必要ユーティリティ：真空（バキューム）、圧縮空気（CDA）、窒素（N2）、局所排気設備