中古機 アライナー キャノン　Canon製、型式PLA-501のご紹介

【AIによる装置概要】
本機は、半導体デバイスやMEMSなどの製造工程において、フォトマスク上の微細な回路パターンをウェーハ上に転写するためのプロキシミティ・マスクアライナー（近接露光装置）です。最大5インチ（約125mm）までのウェーハサイズに対応しており、専用チャックやアタッチメントを交換することで3インチや4インチなどの各種基板サイズでの処理も可能となっています。

露光方式は、マスクとウェーハを微小な間隔で保持する「プロキシミティ方式」に加え、直接密着させて露光する「ソフトコンタクト方式」「ハードコンタクト方式」に対応しています。プロキシミティ露光では、両者間のギャップを0〜50μmの範囲で設定でき、20μmのギャップ設定時において約3.0μmの解像力を持ちます。非接触での露光となるため、マスクの摩耗やパーティクルによる欠陥発生を抑制できる点が特徴です。一方で、ハードコンタクト方式を選択した場合は、1.0μm以下のより高い解像度を得ることが可能です。

光源には250Wまたは500Wの超高圧水銀ランプを使用し、g線、h線、i線を含む紫外線（UV）を照射します。位置合わせ（アライメント）機構については、双眼顕微鏡を用いたマニュアルアライメントのほか、派生モデルによってはオートアライメント機能を搭載し±0.5μmの高精度な位置合わせを実現します。現在でも研究開発用途や特殊デバイスの小規模生産ラインで広く運用されています。

【AIによる参考仕様】
対応ウェーハサイズ：最大5インチ（125mm）※3インチ・4インチ切替可
対応マスクサイズ：最大5インチ角 〜 6インチ角
露光方式：プロキシミティ方式、ソフトコンタクト方式、ハードコンタクト方式
露光光源：超高圧水銀ランプ（250W または 500W）
露光波長：UVブロードバンド（g線・h線・i線帯域）
プロキシミティギャップ設定：0 ～ 50 μm
解像力（プロキシミティ方式）：約3.0 μm（ギャップ 20 μm時）
解像力（コンタクト方式）：約1.0 μm以下（ハードコンタクト時）
アライメント精度：±0.5 μm ～ ±1.0 μm（マニュアル / オートの仕様による）
スループット：約100 ～ 120 枚/時