中古機 アライナー調整用DRマスク キャノン　Canon製、型式No52のご紹介

【AIによる装置概要】
本製品は、等倍反射投影型マスクアライナー（ミラープロジェクションアライナー）の定期点検および光学系キャリブレーションに使用される調整用のテストマスクセットです。6インチウェハープロセス向けに設計されており、等倍スリットスキャン露光方式におけるディストーション（歪曲収差）の測定、解像力の確認、およびアライメント精度の維持管理に不可欠な専用治具として機能します。

マスク基板は、6インチの露光エリア全体をスキャン軌道に合わせてカバーするため、7インチの円形（丸型）仕様が採用されています。これにより、投影光学系の広域な収差測定や、スキャン方向・非スキャン方向における光学特性の均一性の確認を正確に行うことができます。

また、本製品にはアライメント調整用の基準ガラスウェハーと、それを装置内で安定して保持するためのガラス用特殊チャックが付属しています。通常のシリコンウェハーとは異なり光を透過するガラス基板を使用することで、アライメントセンサーの受光状態の詳細な確認や、透過光を利用した焦点位置（フォーカス）のシビアなキャリブレーション作業を、高い位置再現性をもって実行することが可能です。

【AIによる参考仕様】
・適用ウェハープロセス：6インチ（約150mm）
・マスクサイズ・形状：7インチ（約177.8mm） 丸型（ラウンド形状）
・対応露光方式：等倍反射投影スリットスキャン方式
・主な用途：投影光学系のディストーション・解像力評価、アライメント精度調整
・付属基準基板：基準ガラスウェハー（透過性評価・アライメント調整・搬送確認用）
・付属チャック機構：ガラス用特殊チャック（透過基板専用保持・真空吸着対応）