中古機 アライナー キャノン　Canon製、型式PLA-501Sのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造やMEMS、各種電子部品の研究開発および少量生産プロセスで広く採用されているマニュアルアライメント方式のマスクアライナーです。最大の特長は、プロキシミティ（近接）露光をはじめ、ソフトコンタクト露光、ハードコンタクト露光という複数の露光方式をプロセス要件に応じて選択できる点にあります。フォトマスクと基板を密着させて高い解像度を得るコンタクト方式と、数μm～数十μmの微小な間隙を設けてフォトマスクの損傷や汚染を防ぐプロキシミティ方式を使い分けることで、多様なレジストパターニングに柔軟に対応します。

対応する基板サイズは最大5インチ（直径125mm）となっており、ウェーハチャックなどのアタッチメントを交換することで、2インチや3インチといった小径基板、あるいは非定型のチップサイズ基板にも適応可能です。フォトマスクは最大6インチサイズまで搭載できます。

光源部には250Wクラス（または500Wクラス）の超高圧水銀ランプを搭載しており、i線（365nm）、h線（405nm）、g線（436nm）を含む広帯域の紫外線（UV）を照射します。アライメント（位置合わせ）機構には、左右の視野を同時に観察できるスプリットフィールド双眼顕微鏡を採用しています。オペレーターが顕微鏡下で基板とマスクのアライメントマークを確認しながら、X軸、Y軸、θ（回転）軸の微動ステージを手動で操作し、約±1.0μmクラスの重ね合わせ精度を実現します。自動アライメント機構を搭載した同シリーズの派生モデルとは異なり、手動操作ならではの直感的な微調整が可能なため、不規則な形状のサンプルを扱う大学の研究室や開発部門などで特に適した構造となっています。

【AIによる参考仕様】
・対応基板サイズ：最大5インチ（φ125mm） ※チャック交換により小径・異形基板に対応可能
・対応マスクサイズ：最大6インチ（152mm）
・露光方式：プロキシミティ露光、ソフトコンタクト露光、ハードコンタクト露光
・光源：超高圧水銀ランプ（250W または 500W）
・露光波長帯域：広帯域UV（約365nm〜436nm / i線・h線・g線）
・アライメント方式：マニュアルアライメント（手動位置合わせ）
・観察光学系：スプリットフィールド双眼顕微鏡（左右独立視野観察機能付き）
・アライメント精度：約±1.0μm（※基板状態や操作条件による）
・解像度（参考値）：コンタクト露光時 約1.0μm / プロキシミティ露光時 数μm（設定ギャップ長に依存）
・ステージ微動機構：X軸、Y軸、θ（回転）軸のマイクロメーター調整式