中古機 マスクアライナー キャノン　Canon製、型式PLA-501Sのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体、MEMS、化合物半導体、センサーなどの研究開発分野や、少量多品種の製造プロセスで広く運用されているプロキシミティ（近接）およびコンタクト（接触）方式の露光装置です。マスクと基板の間に微小なギャップを設けるプロキシミティ露光をはじめ、ソフトコンタクト、真空密着によるハードコンタクトといった複数の露光モードを備えており、レジスト膜厚やパターニングの要求精度に応じた柔軟なプロセス構築が可能です。

光源部には超高圧水銀ランプを搭載しており、g線（436nm）、h線（405nm）、i線（365nm）を含むUVブロードバンド光を照射します。解像力はプロセス条件やギャップ設定に依存しますが、ハードコンタクトモードで約1μm、プロキシミティモードで約3〜5μmの微細パターン形成能力を有しています。位置合わせ（アライメント）は双眼スプリットフィールド顕微鏡を用いたマニュアル方式を採用しており、X・Y・θ軸の微動ステージを操作することで約±1μmのアライメント精度を実現します。

堅牢な基本構造とシンプルな機構によりメンテナンス性に優れており、長期的な安定稼働が見込めます。なお、本装置はオーバーホールおよび経年劣化部品の交換を含むリファブ（再整備）を実施した上で納品いたします。対応する基板サイズやマスクのサイズなどは相談の上、対応いたします。

【AIによる参考仕様】
・露光方式：プロキシミティ、ソフトコンタクト、ハードコンタクト
・対応基板サイズ：最大5インチ（125mm） ※小片チップから各種インチサイズまで、サイズなどは相談の上、対応します。
・対応マスクサイズ：最大6インチ
・光源：超高圧水銀ランプ（標準250W または 500W）
・露光波長：UVブロードバンド（365nm〜436nm帯域）
・解像力：ハードコンタクト時 約1μm / プロキシミティ時 約3〜5μm
・アライメント方式：マニュアル（手動）アライメント
・アライメント精度：約±1μm
・観察光学系：双眼スプリットフィールド顕微鏡
・納品形態：リファブ（再整備）実施後の納品