中古真空コンポーネント、振子式バルブの販売、在庫紹介

## 振子式バルブの特徴

振子式バルブ（ペンデュラムバルブ）は、半導体やディスプレイの製造プロセスなど、高精度な真空環境が求められる産業機械において重要な役割を果たす真空コンポーネントです。主に真空チャンバと真空排気系の間に配置され、流路の開閉（遮断）およびチャンバ内の圧力制御を行うメインバルブとして機能します。

振子式バルブの最大の特徴は、バルブプレート（弁体）が振り子のように扇状にスイングして開閉する点にあります。この構造により、以下の優れた特性を持ちます。

第一に、優れた低発塵性（超低パーティクル）です。半導体などの微細加工では、バルブ開閉時の摩耗粉（パーティクル）が製品の歩留まりを大きく左右します。振子式バルブは弁体とシール面が擦れ合わない動作構造となっているため、金属粉やゴムくずの発生を極めて少なく抑えられます。

第二に、薄型・省スペースな設計です。弁体を横方向にスイングさせるため、バルブ自体の厚み（面間寸法）を非常に薄く抑えられます。設置スペースの限られた真空装置内でも、大きな開口径を維持しながら配置できます。

第三に、精密な圧力調整機能です。モータ駆動タイプの製品では、バルブの開度を微小にコントロールすることで、プロセスガス供給時の真空度を高精度に維持できます。遮断機能と調圧機能を一台で兼ね備えている点も大きな特徴です。


## 振子式バルブの仕組みと動作原理

振子式バルブの動作仕組みは、主に「スイング運動（回転）」と「圧着運動（垂直移動）」の2段階で構成されています。この二段階動作により、シール材の摩耗を防ぎつつ確実な密閉を実現します。

バルブを閉じる際、まずバルブプレートが開口部の直上まで振り子状に回転して移動します。このスイング運動の段階では、バルブプレートと真空シール面（Oリングなど）は接触せず、わずかな隙間を保ったまま移動します。

プレートが開口部の正面に位置すると、続いて垂直方向へ移動する圧着動作へと移行します。プレートがシール面にまっすぐ押し付けられることで、Oリングが均一に圧縮され、気密性の高い密封状態が完了します。開く際はこの逆の順序で、まず垂直方向に離れてからスイングして退避します。

このように、シール材に対して擦り合わせる力が加わらないため、Oリングの損傷や劣化を防ぎ、長寿命化と高い真空封止性を実現しています。駆動源には、高速開閉に適した空圧式や、精密制御が可能な電動式（ステッピングモータ等）が用途に合わせて使用されます。


## 振子式バルブの主な用途

振子式バルブは、高いクリーン度と精密な真空制御が要求される先進分野で広く利用されています。

代表的な用途は半導体製造装置です。CVD（化学気相成長）やALD（原子層堆積）、ドライエッチング、スパッタリングなどの工程において、反応チャンバと真空ポンプを繋ぐメイン排気ラインに設置されます。プロセスガスの供給下で一定の真空圧力を保つ役割や、チャンバ間の隔離を担います。

また、FPD（液晶や有機ELディスプレイ）や太陽電池パネルの製造装置にも不可欠です。これらの装置では大型基板を扱うため大口径の真空ラインが必要とされますが、薄型で大口径化が容易な振子式バルブの長所が存分に活かされます。

その他にも、電子顕微鏡、分析装置、粒子加速器といった最先端の研究用真空設備など、極限のクリーン状態と信頼性が求められる広範な用途で採用されています。