中古機 マスフローコントローラー（MFC） Aera製、型式FC-260Jのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスや各種薄膜形成装置において、ガスの質量流量を精密に測定・制御するエラストマーシール（ゴムシール）方式のマスフローコントローラーです。熱式センサーによる正確な流量検知と内部の電磁式コントロールバルブのフィードバック制御により、一次側の圧力変動に左右されない安定したガス供給を実現します。
本個体は、半導体のドーピングなどで使用されるPH3（ホスフィン）のN2（窒素）希釈ガスに対応しており、フルスケール流量は300 SCCMに調整されています。応答性に優れ、設定変更に対して約2秒以下で目標流量へ追従する安定した過渡特性を備えています。外形寸法は幅120mm、奥行25mm、高さ110mmのコンパクトな設計となっており、限られたスペースのガスパネルや装置内配管への組み込みに適しています。

【AIによる参考仕様】
* **対応ガス**: PH3／N2（ホスフィン／窒素希釈ガス）
* **最大流量**: 300 SCCM（0℃、1 atm基準）
* **外形寸法**: W120 × D25 × H110 mm
* **シール材質**: エラストマー
* **制御範囲**: 2% ～ 100% F.S.（フルスケール）
* **精度**: ±1.0% F.S.
* **再現性**: ±0.2% F.S.
* **応答時間**: 2秒以下（目標値の±2%以内）
* **動作差圧範囲**: 50 kPa ～ 300 kPa
* **耐圧**: 1.0 MPa
* **動作温度範囲**: 5℃ ～ 50℃
* **外部リークレート**: 1 × 10⁻⁶ atm・cc/sec He以下
* **駆動電源**: DC ±15V (±5%)