中古 Aera マスフローコントローラー（MFC） FC-260J
本体価格(税別、送料別)30,000円
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- メーカー
- Aera
- 型式
- FC-260J
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- 100SCCM/C2F6
- 管理番号
- Z2203170115
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | C2F6 |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 100 SCCM |
FC-260J の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| フルスケールレンジ(N2換算) | 10SCCM〜5SLM |
|---|---|
| 流量制御範囲 | フルスケールの2〜100 % |
| バルブ | 常開(NO) |
| コントロールバルブ形式 | ノーマリーオープン サーマルバルブ |
| セットポイントレスポンス | 6 秒 |
| 精度 | フルスケールの±1 % |
| 直線性 | フルスケールの±0.5 % |
| 繰り返し精度 | フルスケールの±0.2 % |
| リークレート | 1×10⁻⁹ atm·cc/sec(He) |
| 材質(接ガス面) | SUS316L、サファイア、バイトン、ネオプレン又はカルレッツ |
| 取付方向 | 自由 |
| 作動圧 | 0.5〜2.8 kg/cm² |
| 耐圧 | 100 kg/cm² |
| 圧力影響 | 0.007 %/PSI |
| 使用温度 | 5〜43 ℃ |
出典: メーカー資料
Aera FC-260J の装置概要 AIによる記述です
本機は、半導体製造プロセスや各種薄膜堆積装置などで広く使用されている、アナログ制御方式のメタルシール型マスフローコントローラーです。制御バルブには、非通電時や異常発生時に自動的に流路を遮断するノーマリークローズ（N/C・常時閉）方式を採用しており、プロセスの安全性を高めています。対象ガスはC2F6（ヘキサフルオロエタン）で調整されており、最大流量100 SCCMのクリーンな微小流量制御に最適化されています。接ガス部のシールには高信頼性のメタルシール構造を採用しているため、外部へのガスリークや不純物の放出を極限まで抑え、高真空環境における高いプロセス再現性を維持します。アナログ信号による流量設定および流量出力をサポートしており、既存の制御システムへの組み込みや交換用途に適した長寿命・高安定設計のデバイスです。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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