中古 Aera マスフローコントローラー（MFC） FC-260J
本体価格(税別、送料別)30,000円
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- メーカー
- Aera
- 型式
- FC-260J
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガスN2 流量5SLM
W130 D25 H110 - 管理番号
- Z21080209
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | N2 |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 5 SLM |
| 外形寸法 | W130 D25 H110 mm |
FC-260J の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| フルスケールレンジ(N2換算) | 10SCCM〜5SLM |
|---|---|
| 流量制御範囲 | フルスケールの2〜100 % |
| バルブ | 常開(NO) |
| コントロールバルブ形式 | ノーマリーオープン サーマルバルブ |
| セットポイントレスポンス | 6 秒 |
| 精度 | フルスケールの±1 % |
| 直線性 | フルスケールの±0.5 % |
| 繰り返し精度 | フルスケールの±0.2 % |
| リークレート | 1×10⁻⁹ atm·cc/sec(He) |
| 材質(接ガス面) | SUS316L、サファイア、バイトン、ネオプレン又はカルレッツ |
| 取付方向 | 自由 |
| 作動圧 | 0.5〜2.8 kg/cm² |
| 耐圧 | 100 kg/cm² |
| 圧力影響 | 0.007 %/PSI |
| 使用温度 | 5〜43 ℃ |
出典: メーカー資料
Aera FC-260J の装置概要 AIによる記述です
本装置は、半導体製造や各種精密産業プロセスにおいて、気体の質量流量を正確に測定・制御するために設計されたアナログ式のマスフローコントローラーです。窒素（N2）ガス用に調整されており、最大5SLM（Standard Liters per Minute）までの流量域において、安定した制御性能を発揮します。
内部には信頼性の高い熱式質量流量センサと電磁式コントロールバルブを搭載しており、温度や供給圧力の変動に影響されることなく、正確な質量流量の維持が可能です。外部からのアナログ制御信号（0-5VDC）に応答し、設定値に対して迅速かつ高精度に流量を自動調整します。長年にわたり業界で採用されてきた実績を持ち、堅牢な構造と優れた再現性を両立しています。幅130mm、奥行25mm、高さ110mmのコンパクト設計により、既存のガスパネルや装置内への組み込み・リプレイスもスムーズに行えます。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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