中古 Aera マスフローコントローラー（MFC） FC-260J
本体価格(税別、送料別)30,000円
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- メーカー
- Aera
- 型式
- FC-260J
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガス5%SiH4／N2 流量3SLM
W130 D25 H110 - 管理番号
- Z21080210
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | SiH4 |
|---|---|
| 濃度 | 5 % |
| 希釈ガス | N2 |
| 流量(フルスケール) | 3 SLM |
| 外形寸法 | W130 D25 H110 mm |
FC-260J の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| フルスケールレンジ(N2換算) | 10SCCM〜5SLM |
|---|---|
| 流量制御範囲 | フルスケールの2〜100 % |
| バルブ | 常開(NO) |
| コントロールバルブ形式 | ノーマリーオープン サーマルバルブ |
| セットポイントレスポンス | 6 秒 |
| 精度 | フルスケールの±1 % |
| 直線性 | フルスケールの±0.5 % |
| 繰り返し精度 | フルスケールの±0.2 % |
| リークレート | 1×10⁻⁹ atm·cc/sec(He) |
| 材質(接ガス面) | SUS316L、サファイア、バイトン、ネオプレン又はカルレッツ |
| 取付方向 | 自由 |
| 作動圧 | 0.5〜2.8 kg/cm² |
| 耐圧 | 100 kg/cm² |
| 圧力影響 | 0.007 %/PSI |
| 使用温度 | 5〜43 ℃ |
出典: メーカー資料
Aera FC-260J の装置概要 AIによる記述です
本マスフローコントローラーは、半導体製造や薄膜形成プロセスにおいて高い実績を持つ、アナログ制御方式の気体流量制御装置です。本個体は、5%に窒素（N2）希釈されたモノシランガス（SiH4）専用として仕様構成されており、最大3 SLMまでの精密な流量制御を実現します。優れた応答性と高い再現性を備え、プロセスの安定化に寄与します。また、気密性と耐久性に優れたメタルシール構造を採用しているため、腐食性や可燃性を持つ特殊材料ガスに対しても高い安全性を保持します。外形寸法は幅130mm、奥行25mm、高さ110mmとコンパクトであり、既存のガスパネルや装置内レイアウトへの組み込み、リプレイスが容易な設計となっています。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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