中古 Aera マスフローコントローラー（MFC） FC-260J
本体価格(税別、送料別)30,000円
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- メーカー
- Aera
- 型式
- FC-260J
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガスPH3／N2 流量300SCCM
W120 D25 H110 - 管理番号
- Z21080208
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | PH3 |
|---|---|
| 希釈ガス | N2 |
| 流量(フルスケール) | 300 SCCM |
| 外形寸法 | W120 D25 H110 mm |
FC-260J の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| フルスケールレンジ(N2換算) | 10SCCM〜5SLM |
|---|---|
| 流量制御範囲 | フルスケールの2〜100 % |
| バルブ | 常開(NO) |
| コントロールバルブ形式 | ノーマリーオープン サーマルバルブ |
| セットポイントレスポンス | 6 秒 |
| 精度 | フルスケールの±1 % |
| 直線性 | フルスケールの±0.5 % |
| 繰り返し精度 | フルスケールの±0.2 % |
| リークレート | 1×10⁻⁹ atm·cc/sec(He) |
| 材質(接ガス面) | SUS316L、サファイア、バイトン、ネオプレン又はカルレッツ |
| 取付方向 | 自由 |
| 作動圧 | 0.5〜2.8 kg/cm² |
| 耐圧 | 100 kg/cm² |
| 圧力影響 | 0.007 %/PSI |
| 使用温度 | 5〜43 ℃ |
出典: メーカー資料
Aera FC-260J の装置概要 AIによる記述です
本装置は、半導体製造プロセスや各種真空薄膜形成装置において長年の実績を持つ、高精度なアナログ制御方式のマスフローコントローラー（MFC）です。接ガス部には耐食性と低ガス放出性に優れたSUS316Lを採用しており、本個体の調整ガスである可燃性・毒性ガスのPH3（ホスフィン／窒素希釈）のような特殊材料ガスに対しても、優れた耐久性と安全性を発揮します。内部に搭載された熱式流量センサーと電磁式比例バルブの組み合わせにより、ガス流量を瞬時に検知・制御し、安定したプロセス環境を維持します。最大流量300 SCCMの微小・中流量域における精密なガス流量制御に適した設計となっています。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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