中古 マスフローコントローラー（MFC）
メーカー名
Tylan
型式FC-770AC
年式表記：
仕様:ガスCF4 流量200SCCM W130 D32 H127
仕様:ガスCF4 流量200SCCM W130 D32 H127
本体価格(税別、送料別)
30,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスや各種化学気相堆積（CVD）、エッチング装置などで広く使用されている、熱式計測方式を採用したアナログ式マスフローコントローラーです。導入実績の多いロングセラーシリーズのモデルであり、信頼性の高い流量制御を実現します。今回の対象個体は、四フッ化炭素（CF4）ガス専用に調整されており、最大流量200SCCM（Standard Cubic Centimeters per Minute）までの精密なガス流量制御に対応しています。
外部からの0〜5 VDCの電気信号（流量設定信号）に応じて内部の電磁式コントロールバルブを高速かつ正確に開閉し、設定された流量を維持します。また、実際に流れている流量を0〜5 VDCの出力信号（流量モニター信号）としてリアルタイムに出力するため、プロセス監視やシステムとの連動が容易です。ガスケットシール（Cシール）またはメタルシール等の継手仕様により、高い気密性とクリーン度を確保。経年変化が少なく、安定した再現性を維持する熱式センサー技術により、微小流量域においても正確な制御性能を提供します。
【AIによる参考仕様】
* **制御対象ガス**：CF4（四フッ化炭素）
* **最大制御流量**：200 SCCM
* **流量制御範囲**：フルスケールの2%〜100%
* **応答時間**：約2秒以下（典型値）
* **精度**：±1.0% F.S.（フルスケール）以内
* **直線性**：±0.5% F.S.以内
* **再現性**：±0.2% F.S.以内
* **動作圧力範囲**：約0.1 MPa 〜 0.3 MPa（一次側・二次側差圧による）
* **耐圧**：1.0 MPa
* **外部入出力信号**：
* 設定入力：0〜5 VDC
* 出力信号：0〜5 VDC
* **駆動電源**：+15 VDC、-15 VDC（2電源方式）
* **接続コネクタ**：D-sub 15ピン（ピンアサインはメーカー標準に準拠）
* **外形寸法**：幅130 mm × 奥行32 mm × 高さ127 mm（突起部、コネクタ除く）
* **シール材**：メタルシールまたは高耐食性エラストマー（詳細要確認）
本装置は、半導体製造プロセスや各種化学気相堆積（CVD）、エッチング装置などで広く使用されている、熱式計測方式を採用したアナログ式マスフローコントローラーです。導入実績の多いロングセラーシリーズのモデルであり、信頼性の高い流量制御を実現します。今回の対象個体は、四フッ化炭素（CF4）ガス専用に調整されており、最大流量200SCCM（Standard Cubic Centimeters per Minute）までの精密なガス流量制御に対応しています。
外部からの0〜5 VDCの電気信号（流量設定信号）に応じて内部の電磁式コントロールバルブを高速かつ正確に開閉し、設定された流量を維持します。また、実際に流れている流量を0〜5 VDCの出力信号（流量モニター信号）としてリアルタイムに出力するため、プロセス監視やシステムとの連動が容易です。ガスケットシール（Cシール）またはメタルシール等の継手仕様により、高い気密性とクリーン度を確保。経年変化が少なく、安定した再現性を維持する熱式センサー技術により、微小流量域においても正確な制御性能を提供します。
【AIによる参考仕様】
* **制御対象ガス**：CF4（四フッ化炭素）
* **最大制御流量**：200 SCCM
* **流量制御範囲**：フルスケールの2%〜100%
* **応答時間**：約2秒以下（典型値）
* **精度**：±1.0% F.S.（フルスケール）以内
* **直線性**：±0.5% F.S.以内
* **再現性**：±0.2% F.S.以内
* **動作圧力範囲**：約0.1 MPa 〜 0.3 MPa（一次側・二次側差圧による）
* **耐圧**：1.0 MPa
* **外部入出力信号**：
* 設定入力：0〜5 VDC
* 出力信号：0〜5 VDC
* **駆動電源**：+15 VDC、-15 VDC（2電源方式）
* **接続コネクタ**：D-sub 15ピン（ピンアサインはメーカー標準に準拠）
* **外形寸法**：幅130 mm × 奥行32 mm × 高さ127 mm（突起部、コネクタ除く）
* **シール材**：メタルシールまたは高耐食性エラストマー（詳細要確認）